Quando le temperature operative superano i 1600 gradi, la grave ossidazione degli elementi di riscaldamento dei metalli, l'ammorbidimento e la deformazione del vetro di quarzo e le precipitazioni di impurità nei materiali di grafite ... questi punti deboli stanno saccheggiando la velocità di snervamento. Le aste di carburo di silicio AGRM stanno interrompendo l'industria con tre caratteristiche rivoluzionarie:
• Zero decadimento termico: Funzionamento continuo a 2200 gradi per 5000 ore con un cambio di resistenza di<3% (measured data)
•Uniformità del campo termico: Accuratezza della zona di temperatura di ± 1,5 gradi (media industria ± 5 gradi), riducendo il cracking dello stress del wafer
•Risparmio energetico e riduzioni dei costi: Con una conduttività termica di 120 W/m · K, si riscaldano il 40% più veloce dei materiali di grafite e consumano il 22% in meno di energia.
Scheda dati della barra in carburo di silicio
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Purezza |
Maggiore o uguale al 99% |
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Colore |
Nero o grigio scuro |
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Formula chimica |
Sic |
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Gradi di materiale |
SIC legato alla reazione, SIC sinterizzato senza pressione, SIC a caldo, ecc. |
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Densità |
>3,2 g/cm³ |
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Temperatura di funzionamento massima |
1500 gradi |
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Conducibilità termica |
120-200 W/m·K |
Le barriere tecnologiche principali di AGRM per le aste in carburo di silicio
▶ Processo di struttura ultra-densa
Utilizzando la tecnologia brevettata per la pressione isostatica a freddo (CIP), la canna raggiunge una densità di 3,12 g/cm³ (rispetto allo standard del settore di 2,8 g/cm³) e una porosità inferiore allo 0,2%, eliminando completamente la contaminazione da volatili ad alta temperatura.
▶ Tecnologia di sinterizzazione del gradiente
Una curva di sinterizzazione a temperatura a temperatura a temperatura a temperatura a temperatura a 7 stadi unica (certificata ISO 19685) controlla esattamente la dimensione del grano tra 5-8 μm e raggiunge una resistenza alla flessione superiore a 450mp (rispetto a<300MPa for conventional SiC rods).
▶ Strato di auto-passione della superficie
When exposed to an oxygen environment at 1300°C, a 3μm silicon dioxide protective film automatically forms on the surface, reducing the oxidation weight loss rate to 0.01mg/cm²·h (compared to >0,1 mg/cm² · H con processi convenzionali).
Soluzioni personalizzate del settore
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Aree di applicazione |
Funzionalità personalizzate |
Vantaggi del cliente |
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Fornace a cristallo a semiconduttore |
Impurità di metallo ultra-bassa (Na/K ＜ 1ppm) |
L'uniformità della resistività del wafer di silicio è migliorata del 30% |
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Fornace di sinterizzazione fotovoltaica |
Design di raffreddamento rapido (1000 gradi → 200 gradi /5min) |
Il tasso di frammentazione cellulare è sceso allo 0,3% |
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Sintering ceramico aerospaziale |
Resistenza a shock termico> 500 volte (ΔT 1500 gradi → temperatura ambiente) |
Il tasso qualificato delle pale della turbina ha superato il 98% |
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Filting di vetro di fascia alta |
Rivestimento bagnante anti-vetro |
Life della fornace si è estesa a 18 mesi (in media industria 9 mesi) |
Gradi di materiale in carburo di silicio
- Reazione in carbone di silicio legato
- Carburo di silicio sinterizzato senza stampa
- Carburo di silicio a caldo
- Carburo di silicio ricristallizzato
- Carburo di silicio di sinterizzazione pressante isostatica calda
- Scintillare in carburo di silicio per sinterizzazione del plasma
Perché i clienti globali scelgono AGRM?
Forza di ricerca e sviluppo
Partner strategico dell'Istituto di materiali, Accademia cinese delle scienze e titolare di 12 brevetti legati alla SiC
Capacità di consegna
Produzione di massa del forno a tunnel completamente automatizzato, con una capacità mensile di 30.000 unità standard (tolleranza a ± 0,5 mm)
Rete di servizi
Centri di assistenza tecnica in Germania, Giappone e Messico, con un meccanismo di risposta alle emergenze di 72 ore
Certificazioni
ISO 9001: 2015, ROHS, Reach e Semi S2
FAQ
D: È normale che le aste di carburo di silicio si rompano durante l'uso?
A: Se correttamente installato, il tasso di crack dei prodotti AGRM è inferiore a 1 ‰ (media del settore 5%). Se vengono trovate crepe, di solito sono causate da: ① Tasso di riscaldamento> 15 gradi /min (8-10 gradi /min consigliati) ② Pressione del morsetto> 20n /cm² (deve essere controllato entro 10-15n /cm²) ③ Differenza di temperatura orizzontale> 80 gradi (parallelismo dell'elemento di riscaldamento) deve essere controllato)
D: Quali sono i vantaggi sulle aste in lega di molibdeno-lantanum?
A: In condizioni operative superiori a 1800 gradi, la lega molibdeno-lantanum ha una durata di sole 800 ore e richiede protezione da idrogeno. Le aste di carburo di silicio AGRM hanno una durata di 3000 ore in aria, riducendo i costi complessivi del 60%.
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